PIEZOOTPORNI SILICIJUMSKI SENZORI PRITISKA
Senzor pritiska je osetlјivi element koji konvertuje mehanički napon u električni signal. Senzori pritiska koji su razvijeni I realizovani u okviru Centra za mikroelektronske tehnologije zasnovani su na piezootpornim mikročipovima sa profilisanom dijafragmom, izrađenom zapreminskim mikromašinstvom, u koju je ugrađen minijaturni Vitstonov most. Svi naši senzori i njihovi čipovi u potpunosti su koncipirani, projektovani, razvijeni i proizvedeni u našim laboratorijama. Senzori se isporučuju inkapsulirani u kućište, dok se senzori za medicinske primene isporučuju kao čipovi bez kućišta.
SMART TRANSMITER PRITISKA
SMART TRANSMITER PRITISKA industrijska verzija zasnovan je na porodici silicijumskih mikročipova u potpunosti projektovanih, izrađenih i testiranih u Centru za mikroelektronske tehnologije IHTM. Za njihovu izradu korišćene su mikroelektronske i mikromašinske/MEMS tehnologije. Namenjen je za merenje apsolutnog i relativnog pritiska pri teškim uslovima eksploatacije u termo- i hidroenergetskim postrojenjima, hemijskoj i farmaceutskoj industriji, industriji nafte i gasa, prehrambenoj industriji, crnoj i obojenoj metalurgiji, vodosnabdevanju, brodskim postrojenjima, grejanju i klimatizaciji i dr. Dvožična električna veza na izlazu iz transmitera istovremeno služi za napajanje uređaja, prenos izlaznog mernog signala i za dvosmernu digitalnu komunikaciju. Izlazni električni signal linearno je zavisan od ulaznog mernog pritiska.
SILICIJUMSKE PIN FOTODIODE
U Centru za mikroelektronske tehnologije realizuju se PIN fotodiode na podlogama n- i p-tipa, jednoelementne i kvadrantne, s aktivnim oblastima od 0.8 mm2 do 80 mm2. Fotodioda obasjana vidlјivim ili bliskim infracrvenimm zračenjem ponaša se kao strujni izvor čija je fotostruja srazmerna snazi zračenja. Inverzna polarizacija povećava paralelnu unutrašnju otpornost i smanjuje kapacitivnost diode. Smanjenje kapacitivnosti i otpora opterećenja RL smanjuje vreme odziva. Fluks pozadinskog zračenja povećava struju šuma, zbog toga se preporučuju filtri ili zamračivanje da bi se smanjilo ovo zračenje.
Projekat: cellFOS – Label-Free Detection of Cancer Cells by Fiber-Optic Sensing Technique Based on Low-Coherence Interferometry
Učesnici: Austrian Center for Medical Innovation and Technology (ACMIT), Centre of Microelectronic Technologies ICTM, OnkoTec GmbH & Donau-Universität Krems.
U okviru ovog projekta prema zahtevu i za potrebe stranih partnera realizovana je Opto-fluidna platforma za praćenje ćelija raka koja je priznata kao tehničko rešenje kategorije M81: Ž. Lazić, M. M. Smiljanić, Z. Đinović, M. Rašljić, K. Cvetanović-Zobenica, D. Vasiljević-Radović „Opto-fluidna platforma za praćenje ćelija raka“, korisnik: ACMIT Beč, Austrija, 2019 (Odluka o verifikaciji MNO za elektroniku, telekomunikacije i informacione tehnologije od 31.05.2019.).
Izrada MEMS strukture za grafenski mikrofon
Učesnici: IHTM- Centar za mikroelektronske tehnologije i Dirigent Acoustics d.o.o.
U toku razvoja i izrade nosača za grafensku membranu korišćeni su postojeći tehnološki postupci koji su razvijeni u IHTM-Centru za mikroelektronske tehnologije: fotolitografski postupci, termička oksidacija silicijuma, anizotropno nagrizanje silicijuma i nanošenje tankog sloja zlata. Izrađena je serija nosača prema tehničkim zahtevima naručioca. Uspešno je izrađen backplate elektroda od slojeva zlata, silicijuma i silicijum dioksida sa akustičnim otvorima traženih dimenzija. Backplate je dimenzija 500 µm x 500 µm. Ostvareno je rastojanje između elektroda od 5 µm.