Oprema
Dvostrani poravnjavač
Uređaj za dvostrano uklapanje likova na fotomaski i na poluprovodničkoj pločici i osvetlјavanje fotoosetlјivog materijala ultralјubičastom svetlošću (350 – 450 nm).
Milena Rašlјić Rafajilović
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Uređaj za lasersku izradu maski i fotolitografiju
Uređaj se koristi za izradu maski i fotolitografiju – direktno iscrtavanje.
Milče Smilјanić
smilce@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Bonder sa poravnjavačem
-„in-situ“ poravnjavanje (alining) i podešavanja likova na supstratima (x, y, z & θ),
-tačnost do 2 μm,
-poluautomatska PC kontrola i akvizicija podataka,
-primena napona i do 2.5 kV,
-temperature bondovanja i do 560 oC,
-primenjena sila i do 15000 N,
-samoregulišući suv sistem za vakuumiranje , moguć vakuum u radnoj komori 10-6 mbar.
-brzo hlađenje uspostavlјanjem protoka azota, itd.
Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Mikroskop sa skanirajućom sondom - SPM i AFM
Namenjen za ispitivanja morfologije površine metodom skenirajuće tunelirajuće mikroskopije i mikroskopije atomskih sila.
Opcije: nanolitografija, nanoindentacija.
Uređaj ima mogućnost ispitivanja uzoraka u tečnostima.
Maksimalne dimenzije uzorka: 50 mm x 50 mm x 20 mm
Dana Vasilјević-Radović
dana@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Mikroskop sa skanirajućom sondom - AFM
Namenjen za ispitivanja morfologije površine metodom mikroskopije atomskih sila.
Opcije: nanolitografija, nanoindentacija, određivanje magnetnih i električnih osobina uzorka.
Uređaj ima mogućnost ispitivanja uzoraka u kontrolisanoj atmosferi, vakuumu i u tečnostima. Maksimalne dimenzije uzorka: prečnik – do 40 mm, visina – do 15 mm.
Danijela Ranđelović danijela@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
FT-IR Spektrofotometar
FT-IR 6700 je infracrveni spektrofotometar sa Furijeovom transformaciom. Ima mogućnost merenja transmisije i ATR merenja. Talasne dužine koje pokriva osnovni uređaj pripadaju bliskoj i srednjoj infracrvenoj oblasti – od 350 cm-1 do 13,500 cm-1 (740 nm do 28,6 μm).
Katarina Radulović
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
FT-IR Mikroskop
iN10 FT-IR miroskop je inovativni instrument sa mogućnošću merenja malih uzoraka (svega nekoliko mikrometara) i ima mogućnost merenja u tranmisiji, refleksiji, kao i ATR merenja. Pomoću CCD kamere dobijamo sliku u vidnom delu, a IR detektor omogućava dobijanje IR spektra sa površine uzorka (min 50 μm x 50 μm). U konfiguraciju je uklјučen HgCdTe detektor hlađen tečnim azotom.
Katarina Radulović
kacar@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Analizator spektra
Analiza spektra električnog signala u realnom vremenu (u opsegu širine do 15 MHz)
Opseg učestanosti: DC do 8GHz, Frequency Mask Trigger, DANL: -150 dBm/Hz (@1 GHz)
Ulazna impedansa: 50 Ω, Maksimalan dozvolјeni nivo signala na ulazu: +30dBm
Miloš Frantlović
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
„Lock-In“ Pojačavač
Instrument koji omogućava izdvajanje signala u prisustvu velikog šuma i merenje čistih signala na velikom opsegu frekvencija i amplituda.
Miloš Frantlović
frant@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Programabilni dvokanalni elektronski kalibrator pritiska
Uređaj za nanošenje tankih slojeva fotorezista i drugih materijala u tečnom stanju
Milena Rašlјić Rafajilović
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Spiner
Uređaj za nanošenje tankih slojeva fotorezista i drugih materijala u tečnom stanju
Milena Rašlјić Rafajilović
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
„Glove box“ sistem
Omogućava rad u atmosferi argona sa kontrolom prisustva vlage i kiseonika.
Katarina Cvetanović
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Planetarni mlin
Planetarni mlin sa posudom zapremine do 80 ml. Namenjen je za fino mlevenje manjih količina uzoraka. za mlevenje različitih tipova uzoraka: farmaceutskih, metalurških, mineroloških, hemijskih, bioloških uzoraka, kao i uzoraka zemlјišta. Maksimalna finoća mlevenja je 0,1 µm.
Jelena Stevanović
jelena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Uređaj za zavarivanje
Mašina za zavarivanje visoke preciznosti sa mogućnošću varijacije intenziteta, koristi mikroplazmu za zavarivanje tankih membrana transmitera pritiska. Mogućnost finog podešavanja izlazne struje od 0 do 50 A.
Bogdan Popović
bogdanp@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Uređaj za katodno raspršivanje
Spaterovanje tankih slojeva RF i DC metodom.
Milija Sarajlić
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Peći za difuziju sa 6 grejnih elemenata, za planarne tehnologije na Si
Procesi u pojedinim elementima: difuzija primesa fosfora, difuzija primesa bora (plitka i duboka u odvojenim cevima), vlažna ili suva oksidacija u struji kiseonika u cevi za Si n-tipa ili u cevi za Si p-tipa, odgrevanje difundovanih slojeva, svih 6 grejača je jednoobrazno: temperatura od 400 do 1400°C, korisni prečnik je 135 mm, zona zagrevanja je 200 mm sa tačnošću 0,5°C
Katarina Cvetanović
katarina@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Uređaj za osvetlјavanje filmova i fotoploča
Uređaj sa ksenonskom lampom kao izvorom svetlosti, pomoću koga se direktno prenose projektovani likovi (zadati u odgovarajućem PC formatu) na film ili fotoploču
Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Automatski prober
Namenjen za automatsko i manuelno merenje i karakterizaciju poluprovodničkih komponeneta prečnika do 100 mm, istovremeno merenje u 42 tačke što omogućava merenje složenijih komponenata-integrisanih kola, opremlјen stereo mikroskopom sa mogućnošću zumiranja, automatsko kretanje u x i y pravcu sa minimalnim korakom od 10 μm.
Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Profilometar
Profilometar za merenje deblјine tankih filmova (do 1 nm) kao i za merenje hrapavosti u oblasti mikroelektronske industrije u metalurškim istraživanjima, opremlјen elektronskim pojačavačem i automatskim pisačem za registraciju kretanja merne igle i monokularnim mikroskopom sa uvećanjem do 10x, podešavanje sile merne igle u opsegu od 10 do 300 μN.
Žarko Lazić
zlazic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Bonder
Bondovanje Al žice na poluprovodničke komponente
Stefan Ilić stefan.ilic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Automatska mašina za sečenje
Sečenje poluprovodnika, stakla i sl.
Marko Starčević
mstarcevic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Klima komora sa pratećom opremom
Klima komora sa unutrašnjom zapreminom 50 l, temperaturnog opsega od -40 do +150 °C i opsegom relativne vlažnosti od 20 do 98 %, sa programabilnim kontrolnim panelom na dodir. Klima komora služi za postavlјanje ambijentalnih uslova za testiranje senzora.
Marko Spasenović
spasenovic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Gasni mešač sa kontrolnom elektronikom
Uređaj za kontrolu protoka gasa do 200 standardnih kubnih centimetara po minuti, sa pratećom kontrolnom elektronikom.
Marko Spasenović
spasenovic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Laserska mašina za sečenje i graviranje
Laserska mašina za sečenje i graviranje. Mašina se koristi za izradu laserski indukovanog grafena, kao i za obradu drugih materijala.
Marko Spasenović
spasenovic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Centrifuga
Centrifuga maksimalne brzine16 000 rpm. Dva rotora za kivete 24x2 ml i 12x30 ml.
Stevan Andrić
stevan@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Mašina za sečenje Si supstrata
Mašina za sečenje Si supstrata sa mogućnošću poravnjavanja (alining) i podešavanja po x, y, z & θ osama, opremlјena dijamantskom testerom. Sadrži mikroskop za lakšu orjentaciju.
Milija Sarajlić
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Pumpe za fluide
Pumpa za špriceve zapremine od 0,5 do 60 ml. Maksimalna linearna sila do 13 kg. Kontinualni mod rada.
Milena Rašlјić Rafajilović
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
3D štampač „Wanho“
Tehnologija štampe je FFF (Fused Filament Fabrication). Uređaj sadrži 1 ekstruder. Radna zapremina je 200 x 200 x 180 mm, dok je rezolucija nanosa 0,1 mm – 0,4 mm. Podržani materijali: PLA, ABS, PETG, ASA, TPU, Nylon, HIPS. Promer filamenta je 1,75 mm, a poromer nozle 0,4 mm.
Miloš Vorkapić
worcky@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
3D štampač „Crealty“
Tehnologija štampe je FFF (Fused Filament Fabrication). Uređaj sadrži 1 ekstruder. Radna zapremina je 250 x 250 x 400 mm, dok je rezolucija nanosa 0,1 mm – 0,4 mm. Podržani materijali: PLA, PETG, ABS. Promer filamenta je 1,75 mm, a poromer nozle 0,4 mm.
Miloš Vorkapić
worcky@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Mikroskop „Olympus“
Mikroskop sadrži objektive sa uvećanjima: 10x, 20x, 50x i 100x. Svi objektivi mogu da se koriste i u transmisiji i u refleksiji. Postoji i „dark field“ režim posmatranja uzoraka. Uređaj sadrži i opremu za polarizacionu mikroskopiju, kao i korišćenje "differential intereference contrast (DIC)" prizme u refleksiji.
Marko Spasenović
spasenovic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Invertovani metalurški mikroskop „Motic“
Uvećanja koja ima ovaj mikroskop su 5x, 10x, 20x, 50x. Sadrži i kameru kao i odgovarajući softver za digitalno čuvanje fotografija uzoraka.
Marko Bošković boskovic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Stereo mikroskop
Stereo mikroskop sa uvećanjima 4 x i 8 x
Milija Sarajlić
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
UV-Ozon čistač površina
Ovaj aparat uklanja organske nečistoće sa površina supstrata i uzoraka.
Milena Rašlјić Rafajilović
milena@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Visotemperaturska peć
Ova visokotemperaturska peć može uniformno da zagreje celu zapreminu od 3,37 l do temperature od 1100 °C. Moguć rad u atmosferi azota, kiseonika ili argona, kao i zadavanje programa zagrevanja.
Milija Sarajlić
milijas@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
Uređaj za merenje slojne otpornosti
Uređaj za merenje slojne otpornosti metodom četiri tačke.
Marko Bošković
boskovic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16
UV VIS Spektrofotometar
Spektrofotometar za merenje apsorbancije i transparencije tečnih uzoraka. Sadrži nosač za jedan i za šest uzoraka. Merenje se vrši u opsegu od 190 do 800 nm.
Marko Bošković
boskovic@nanosys.ihtm.bg.ac.rs
Studentski trg 12-16