Oprema

Uređaj za dvostrano uklapanje likova na fotomaski i na poluprovodničkoj pločici i osvetlјavanje fotoosetlјivog materijala ultralјubičastom svetlošću (350 – 450 nm).

Uređaj se koristi za izradu maski i fotolitografiju – direktno iscrtavanje.

-„in-situ“ poravnjavanje (alining) i podešavanja likova na supstratima (x, y, z & θ), -tačnost do 2 μm, -poluautomatska PC kontrola i akvizicija podataka, -primena napona i do 2.5 kV, -temperature bondovanja i do 560 oC, -primenjena sila i do 15000 N, -samoregulišući suv sistem za vakuumiranje , moguć vakuum u radnoj komori 10-6 mbar. -brzo hlađenje uspostavlјanjem protoka azota, itd.

Namenjen za ispitivanja morfologije površine metodom skenirajuće tunelirajuće mikroskopije i mikroskopije atomskih sila. Opcije: nanolitografija, nanoindentacija. Uređaj ima mogućnost ispitivanja uzoraka u tečnostima. Maksimalne dimenzije uzorka: 50 mm x 50 mm x 20 mm

Namenjen za ispitivanja morfologije površine metodom mikroskopije atomskih sila. Opcije: nanolitografija, nanoindentacija, određivanje magnetnih i električnih osobina uzorka. Uređaj ima mogućnost ispitivanja uzoraka u kontrolisanoj atmosferi, vakuumu i u tečnostima. Maksimalne dimenzije uzorka: prečnik – do 40 mm, visina – do 15 mm.

FT-IR 6700 je infracrveni spektrofotometar sa Furijeovom transformaciom. Ima mogućnost merenja transmisije i ATR merenja. Talasne dužine koje pokriva osnovni uređaj pripadaju bliskoj i srednjoj infracrvenoj oblasti – od 350 cm-1 do 13,500 cm-1 (740 nm do 28,6 μm).

iN10 FT-IR miroskop je inovativni instrument sa mogućnošću merenja malih uzoraka (svega nekoliko mikrometara) i ima mogućnost merenja u tranmisiji, refleksiji, kao i ATR merenja. Pomoću CCD kamere dobijamo sliku u vidnom delu, a IR detektor omogućava dobijanje IR spektra sa površine uzorka (min 50 μm x 50 μm). U konfiguraciju je uklјučen HgCdTe detektor hlađen tečnim azotom.

Analiza spektra električnog signala u realnom vremenu (u opsegu širine do 15 MHz) Opseg učestanosti: DC do 8GHz, Frequency Mask Trigger, DANL: -150 dBm/Hz (@1 GHz) Ulazna impedansa: 50 Ω, Maksimalan dozvolјeni nivo signala na ulazu: +30dBm

Instrument koji omogućava izdvajanje signala u prisustvu velikog šuma i merenje čistih signala na velikom opsegu frekvencija i amplituda.

Uređaj za nanošenje tankih slojeva fotorezista i drugih materijala u tečnom stanju

Uređaj za nanošenje tankih slojeva fotorezista i drugih materijala u tečnom stanju

Omogućava rad u atmosferi argona sa kontrolom prisustva vlage i kiseonika.

Planetarni mlin sa posudom zapremine do 80 ml. Namenjen je za fino mlevenje manjih količina uzoraka. za mlevenje različitih tipova uzoraka: farmaceutskih, metalurških, mineroloških, hemijskih, bioloških uzoraka, kao i uzoraka zemlјišta. Maksimalna finoća mlevenja je 0,1 µm.

Mašina za zavarivanje visoke preciznosti sa mogućnošću varijacije intenziteta, koristi mikroplazmu za zavarivanje tankih membrana transmitera pritiska. Mogućnost finog podešavanja izlazne struje od 0 do 50 A.

Spaterovanje tankih slojeva RF i DC metodom.

Procesi u pojedinim elementima: difuzija primesa fosfora, difuzija primesa bora (plitka i duboka u odvojenim cevima), vlažna ili suva oksidacija u struji kiseonika u cevi za Si n-tipa ili u cevi za Si p-tipa, odgrevanje difundovanih slojeva, svih 6 grejača je jednoobrazno: temperatura od 400 do 1400°C, korisni prečnik je 135 mm, zona zagrevanja je 200 mm sa tačnošću 0,5°C

Uređaj sa ksenonskom lampom kao izvorom svetlosti, pomoću koga se direktno prenose projektovani likovi (zadati u odgovarajućem PC formatu) na film ili fotoploču

Namenjen za automatsko i manuelno merenje i karakterizaciju poluprovodničkih komponeneta prečnika do 100 mm, istovremeno merenje u 42 tačke što omogućava merenje složenijih komponenata-integrisanih kola, opremlјen stereo mikroskopom sa mogućnošću zumiranja, automatsko kretanje u x i y pravcu sa minimalnim korakom od 10 μm.

Profilometar za merenje deblјine tankih filmova (do 1 nm) kao i za merenje hrapavosti u oblasti mikroelektronske industrije u metalurškim istraživanjima, opremlјen elektronskim pojačavačem i automatskim pisačem za registraciju kretanja merne igle i monokularnim mikroskopom sa uvećanjem do 10x, podešavanje sile merne igle u opsegu od 10 do 300 μN.

Bondovanje Al žice na poluprovodničke komponente