Милче М. Смиљанић
Центар за Микроелектронске технологије
Лабораторија за планарне и МЕМС технологије/МЕМС и НЕМС структуре, компоненте и направе и системи
Контакт
Област интересовања
- МЕМС
- влажно хемијско нагризање силицијума и Pyrex стакла
- пиезоотпорни сензори притиска
- микрофлуидне платформе
- сензори на бази графена